一體化傳感器基座制造技術(shù)
發(fā)布日期:2019-11-28 瀏覽次數(shù):2626
技術(shù)介紹
隨著電子產(chǎn)品的蓬勃發(fā)展,壓力傳感器具有精度高、工作可靠、頻率響應(yīng)高、遲滯小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),可以在惡劣的條件下工作,便于實(shí)現(xiàn)儀器、儀表數(shù)字化。在生物、醫(yī)學(xué)、化工、巖土力學(xué)、氣象、石油勘探、航天航空等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用,取得迅猛的發(fā)展。壓力傳感器的結(jié)構(gòu)主要由兩大部件組成,其中基座是它的關(guān)鍵部件之一,傳感器的絕緣電阻、耐電壓、密封性、鍵合性能、耐壓力性能都由基座來(lái)支撐實(shí)現(xiàn)的。制造壓力傳感器基座時(shí),傳統(tǒng)的工藝使用分體式,具體是將內(nèi)板與殼體分開(kāi)制造,然后將二者進(jìn)行焊接連接,在焊接時(shí)容易產(chǎn)生變形,影響壓力傳感器的精度。雖然現(xiàn)有些廠(chǎng)家在生產(chǎn)時(shí),將基座做成整體,但是這種基座密封性差,且加工困難,仍然會(huì)影響壓力傳感器的精度。在燒結(jié)通氣管時(shí),玻璃套管融化后,玻璃溶液容易將通氣孔堵住,嚴(yán)重影響產(chǎn)品的成品率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn),而提出的一體化傳感器基座。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本技術(shù)采用了如下技術(shù)方案:一體化傳感器基座,其特征在于:包括基體,基體上側(cè)設(shè)有第一凹槽,基體下側(cè)設(shè)有第二凹槽,在第一凹槽與第二凹槽之間設(shè)有電極引線(xiàn)孔,在電極引線(xiàn)孔的孔壁滾花,在電極引線(xiàn)孔內(nèi)通過(guò)玻璃套管燒結(jié)連接電極引線(xiàn);在第一凹槽的中間設(shè)有通氣孔,通氣孔在第二凹槽的中間設(shè)有通氣管孔,通氣孔與通氣管孔對(duì)應(yīng)設(shè)置且相互貫通,在通氣管孔內(nèi)通過(guò)玻璃套管燒結(jié)連接通氣管,在通氣管與通氣孔之間還設(shè)有密封連接件;在第二凹槽底部設(shè)有玻璃燒結(jié)層。優(yōu)選地,在所述電極引線(xiàn)孔兩端均設(shè)有過(guò)度孔。優(yōu)選地,所述第一凹槽的槽...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一體化傳感器基座,其特征在于:包括基體(1),基體(1)上側(cè)設(shè)有第一凹槽(2),基體(1)下側(cè)設(shè)有第二凹槽(3),在第一凹槽(2)與第二凹槽(3)之間設(shè)有一組電極引線(xiàn)孔(4),在每個(gè)電極引線(xiàn)孔(4)的孔壁均滾花,在每個(gè)電極引線(xiàn)孔(4)內(nèi)均通過(guò)玻璃套管燒結(jié)連接電極引線(xiàn)(9);在第一凹槽(2)的中間設(shè)有通氣孔(6),通氣孔(6)為錐形孔,通氣孔(6)在第二凹槽(3)的中間設(shè)有通氣管孔(6.1),通氣孔(6)與通氣管孔(6.1)對(duì)應(yīng)設(shè)置且相互貫通,在通氣管孔(6.1)的內(nèi)壁滾花,在通氣管孔(6.1)內(nèi)通過(guò)玻璃套管燒結(jié)連接通氣管(10),在通氣管(10)與通氣孔(6)之間還設(shè)有密封連接件(30);在第二凹槽(3)底部設(shè)有玻璃燒結(jié)層(12)。

